實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類(lèi)微量污染物的影響,對很多微量污染物極為敏感,比如氨氣或者酸性氣體都會(huì )給半導體生產(chǎn)帶來(lái)危害,盡管隨著(zhù)深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展,已經(jīng)減少了長(cháng)時(shí)間持續實(shí)時(shí)監測,而實(shí)際上AMC空氣分析儀對空氣分子污染(AMC)的實(shí)...
傅里葉紅外分析儀由紅外燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測器、各種紅外反射鏡、數據處理系統等組成。樣品室的容積應盡可能大,應能安裝各種小型紅外配件,如各種衰減全反射(ATR)配件、漫反射配件、鏡面反射配件等。傅里葉紅外分析常見(jiàn)的功能之一是官能團...
光聲光譜氣體分析儀集成了高精度、高選擇性、光譜可調可控的半導體激光光源和寬動(dòng)態(tài)范圍的懸臂梁增強光聲光譜技術(shù)。零背景噪聲技術(shù)提供高穩定性,無(wú)需重復校準數月。儀器工作在非諧振模式,可以使用不同的調制模式同時(shí)測量來(lái)自?xún)蓚€(gè)激光源的信號,得到的光聲光...
溶解氧分析儀計算溶解氧含量的數據效果比較好;另一個(gè)外部因素是水中植物的光合作用。測得的溶解氧含量會(huì )略有變化。溶解氧的具體含量與溫度、氣壓和鹽分含量密切相關(guān)。一般溫度越高,溶解鹽越高,水中溶解氧含量越低;氣壓越高,水中的溶解氧越高,有利于水生...
由于用途廣泛,CF4可以通過(guò)多種方式進(jìn)入土壤、水體和大氣中,形成環(huán)境污染。通過(guò)在大氣中擴散和釋放,進(jìn)入平流層,破壞臭氧層。因此,世界上許多國家對此類(lèi)污染物對臭氧層的影響開(kāi)展了大量的研究工作,證實(shí)了臭氧層的喪失與這一系列氣體在大氣中釋放的自由...
合成氣監控主要有三個(gè)用途:安全監控,監控超標后會(huì )引起爆炸危險的介質(zhì),測量結果參與聯(lián)鎖控制,確保人員和設備的安全。過(guò)程控制,監控過(guò)程生產(chǎn)狀態(tài)是否正常,以保證產(chǎn)品的質(zhì)量。環(huán)保監測:監測排放到環(huán)境中的廢氣中能污染大氣的成分是否超標,控制生產(chǎn)過(guò)程中...
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